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Web四探针法是材料学及半导体行业电学表征较常用的方法,其原理简单,能消除接触电阻影响,具有较高的测试精度。. 由厚块原理和薄层原理推导出计算公式,并经厚度、边缘效应和测试温度的修正即可得 ... 详情>>. 真空 2011年03期 四探针法 ; 半导体表征 ; 微观四点 ...

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